ELECTRON-RESIST FABRICATION OF BENDS AND COUPLERS FOR INTEGRATED OPTICAL CIRCUITS

被引:29
作者
GOELL, JE [1 ]
机构
[1] BELL TEL LABS, CRAWFORD HILL LAB, HOLMDEL, NJ 07733 USA
关键词
D O I
10.1364/AO.12.000729
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:729 / 736
页数:8
相关论文
共 13 条