PHOSPHORUS BURIED EMITTER I2L FOR HIGH-VOLTAGE OPERATING CIRCUITS

被引:5
作者
WATANABE, T [1 ]
OKABE, T [1 ]
NAGATA, M [1 ]
机构
[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,KOKUBUNJI,TOKYO 185,JAPAN
关键词
D O I
10.7567/JJAPS.16S1.143
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:143 / 146
页数:4
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共 2 条
[1]  
BREUER DR, ISSCC 72 DIGEST TECH, P146
[2]  
BREUER DR, ISSCC 75 DIGEST TECH, P126