INFLUENCE OF DEPOSITION CONDITIONS AND SUBSTRATE STRUCTURE ON STRUCTURE OF SPUTTERED TELLURIUM-FILMS

被引：15

作者：

MARINKOVIC, Z ^{[1
]}

ROY, R ^{[1
]}

机构：

[1] PENN STATE UNIV,MAT RES LAB,UNIVERSITY PK,PA 16802

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(74)90180-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：355 / 359

页数：5

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