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INITIAL-STAGES OF THE INTERACTION OF NITROUS-OXIDE AND OXYGEN WITH THE (100) SILICON SURFACE UNDER LOW-PRESSURES
被引：17
作者：
BAKLANOV, MR
KRUCHININ, VN
REPINSKY, SM
SHKLYAEV, AA
机构：
[1] USSR Acad of Sciences, Russia
来源：
REACTIVITY OF SOLIDS
|
1989年
/
7卷
/
01期
关键词：
34;
D O I：
10.1016/0168-7336(89)80002-6
中图分类号：
O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];
学科分类号：
070304 ;
081704 ;
摘要：
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