MONTE-CARLO SIMULATIONS ON SCATTERING OF BOMBARDED IONS IN SOLIDS

被引:81
作者
ISHITANI, T
SHIMIZU, R
MURATA, K
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.11.125
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:125 / &
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