STANDARDIZED TERMINOLOGY FOR OXIDE CHARGES ASSOCIATED WITH THERMALLY OXIDIZED SILICON

被引：154

作者：

DEAL, BE

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1980年 / 27卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1980.19908

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页码：606 / 608

页数：3

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共 4 条

[1] AGAJANIAN AH, 1976, SEMICONDUCTOR DEVICE, P547
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[3] DEAL BE, 1974, J ELECTROCHEM SOC, V121, pC188
[4] [No title captured]