NEW ELLIPSOMETRIC METHOD FOR MEASUREMENTS ON SURFACES AND SURFACE-LAYERS

被引：30

作者：

STENBERG, M

SANDSTROM, T

STIBLERT, L

机构：

来源：

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING | 1980年 / 42卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0025-5416(80)90012-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：65 / 69

页数：5

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共 3 条

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