PERFORMANCE OF INTEGRATED THERMOPILE VACUUM SENSORS

被引：20

作者：

VANHERWAARDEN, AW

SARRO, PM

机构：

[1] Delft Univ of Technology, Netherlands

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1988年 / 21卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/21/12/009

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：1162 / 1167

页数：6

共 7 条

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