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A NEW PARTIAL-PRESSURE GAUGE FOR HE AND D2 USING ION BACKSCATTERING PRINCIPLE
被引：3
作者：
URITANI, A
AKAISHI, K
KUBOTA, Y
HORI, Y
MIYAHARA, A
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
05期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L403
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L403 / L405
页数：3
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