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CURRENT-CONTROLLED GROWTH AND DOPANT MODULATION IN LIQUID-PHASE EPITAXY
被引:68
作者
:
KUMAGAWA, M
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0
机构:
MIT, DEPT MET & MAT SCI, CAMBRIDGE, MA 02139 USA
KUMAGAWA, M
WITT, AF
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机构:
MIT, DEPT MET & MAT SCI, CAMBRIDGE, MA 02139 USA
WITT, AF
LICHTENSTEIGER, M
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机构:
MIT, DEPT MET & MAT SCI, CAMBRIDGE, MA 02139 USA
LICHTENSTEIGER, M
GATOS, HC
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机构:
MIT, DEPT MET & MAT SCI, CAMBRIDGE, MA 02139 USA
GATOS, HC
机构
:
[1]
MIT, DEPT MET & MAT SCI, CAMBRIDGE, MA 02139 USA
[2]
MIT, CTR MAT SCI & ENGN, CAMBRIDGE, MA 02139 USA
来源
:
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
|
1973年
/ 120卷
/ 04期
关键词
:
D O I
:
10.1149/1.2403505
中图分类号
:
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
:
081704 ;
摘要
:
引用
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[1]
IMPURITY HETEROGENEITIES AND MULTIPLE-BEAM INTERFEROMETRY
[J].
JOHNSTON, DC
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JOHNSTON, DC
;
WITT, AF
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WITT, AF
;
GATOS, HC
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GATOS, HC
.
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1968,
115
(04)
:438
-&
[2]
MODULATION OF DOPANT SEGREGATION BY ELECTRIC CURRENTS IN CZOCHRALSKI-TYPE CRYSTAL GROWTH
[J].
LICHTENSTEIGER, M
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.
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1971,
118
(06)
:1013
-+
[3]
PANISH MB, 1971, T AIME, V2, P795
[4]
STUDY OF IMPURITY HETEROGENEITIES IN INSB BY MEANS OF A PERMANGANATE ETCHANT
[J].
WITT, AF
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WITT, AF
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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1967,
114
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:298
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[1]
IMPURITY HETEROGENEITIES AND MULTIPLE-BEAM INTERFEROMETRY
[J].
JOHNSTON, DC
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JOHNSTON, DC
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WITT, AF
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GATOS, HC
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GATOS, HC
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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1968,
115
(04)
:438
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[2]
MODULATION OF DOPANT SEGREGATION BY ELECTRIC CURRENTS IN CZOCHRALSKI-TYPE CRYSTAL GROWTH
[J].
LICHTENSTEIGER, M
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LICHTENSTEIGER, M
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GATOS, HC
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GATOS, HC
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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1971,
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(06)
:1013
-+
[3]
PANISH MB, 1971, T AIME, V2, P795
[4]
STUDY OF IMPURITY HETEROGENEITIES IN INSB BY MEANS OF A PERMANGANATE ETCHANT
[J].
WITT, AF
论文数:
0
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WITT, AF
.
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1967,
114
(03)
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