SIMULTANEOUS CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION OF CARBON AND SILICON

被引：24

作者：

MARINKOV.S

SUZNIEVI.C

DEZAROV, I

MIHAJLOV.A

CEROVIC, D

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0008-6223(70)90069-2

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：283 / &

共 17 条

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