EFFECT OF STRUCTURE ON PIEZORESISTIVE PROPERTIES OF THIN METAL FILMS

被引:18
作者
KNIGHT, MJ
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1315736
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:706 / &
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