CAPACITIVE TRANSDUCER FOR ACCURATE DISPLACEMENT CONTROL

被引:31
作者
KOSEL, PB
MUNRO, GS
VAUGHAN, R
机构
关键词
D O I
10.1109/TIM.1981.6312458
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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页数:10
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[No title captured]