LARGE AREA SUBSTRATE HEATER FOR ULTRA HIGH-VACUUM

被引:4
作者
UNVALA, BA [1 ]
CENSLIVE, M [1 ]
机构
[1] IMPERIAL COLL,DEPT MET & MAT SCI,LONDON SW7 2BP,ENGLAND
关键词
D O I
10.1016/0042-207X(73)92118-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:327 / 329
页数:3
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