SUBSURFACE PARTICLE GROWTH-KINETICS IN PHYSICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：14

作者：

ROBERTSON, D

PUNDSACK, AL

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.329807

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：455 / 462

页数：8

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共 10 条

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