EVAPORATION OF IMPURITIES FROM SEMICONDUCTORS

被引:22
作者
LEHOVEC, K
SCHOENI, K
ZULEEG, R
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1722765
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:420 / 423
页数:4
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