INVESTIGATION OF SHEATH AT ELECTRODE IN RADIO-FREQUENCY DISCHARGE

被引：5

作者：

GODYAK, VA

OX, SN

机构：

来源：

JOURNAL DE PHYSIQUE | 1979年 / 40卷

关键词：

D O I：

10.1051/jphyscol:19797390

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页码：809 / 810

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共 2 条

[1]

Godyak V. A., 1976, Fizika Plazmy, V2, P141

[2]

GODYAK VA, 1977, 13 P INT C PHEN ION, P347