ATOMIC-HYDROGEN IMPROVES THE RIGIDITY OF SI-NETWORK AND TAIL STATES AT THE VALENCE BAND IN A-SI-H AND A-SI-H(F) FILMS

被引：3

作者：

HANNA, J ^{[1
]}

AZUMA, H ^{[1
]}

SHIRAI, H ^{[1
]}

AZUMA, M ^{[1
]}

SHIMIZU, I ^{[1
]}

机构：

[1] TOKYO INST TECHNOL,GRAD SCH NAGATSUTA,MIDORI KU,YOKOHAMA,KANAGAWA 227,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(89)90726-6

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：804 / 806

页数：3

共 6 条

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