SILICON CARBIDE FILMS EVAPORATED IN VACUUM ON SYNTHETIC MICAS

被引:8
作者
ONUMA, Y
机构
[1] Faculty of Engineering, Shinshu University
关键词
D O I
10.1143/JJAP.8.401
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
[No abstract available]
引用
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页码:401 / &
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