DISTRIBUTION OF POLYMER DEPOSITION IN PLASMA POLYMERIZATION .1. ACETYLENE, ETHYLENE, AND EFFECT OF CARRIER GAS

被引:36
作者
YASUDA, H
HIROTSU, T
机构
关键词
D O I
10.1002/pol.1978.170160122
中图分类号
O63 [高分子化学(高聚物)];
学科分类号
070305 ; 080501 ; 081704 ;
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页数:13
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