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ONE-STEP REPAIR OF TRANSPARENT DEFECTS IN HARD-SURFACE PHOTOLITHOGRAPHIC MASKS VIA LASER PHOTODEPOSITION
被引：37
作者：
EHRLICH, DJ
OSGOOD, RM
SILVERSMITH, DJ
DEUTSCH, TF
机构：
来源：
ELECTRON DEVICE LETTERS
|
1980年
/
1卷
/
06期
关键词：
D O I：
10.1109/EDL.1980.25246
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
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页码：101 / 103
页数：3
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