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SHIELDED CATHODE TO MINIMIZE GAS SPUTTERING EFFECTS
被引：9
作者：
GAUR, JP
CHANIN, LM
机构：
关键词：
D O I：
10.1063/1.1683282
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
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页码：1948 / &
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