A MATHEMATICAL-MODEL OF THE GAS-PHASE AND SURFACE-CHEMISTRY IN GAAS MOCVD

被引:20
作者
COLTRIN, ME
KEE, RJ
机构
来源
III-V HETEROSTRUCTURES FOR ELECTRONIC / PHOTONIC DEVICES | 1989年 / 145卷
关键词
D O I
10.1557/PROC-145-119
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页码:119 / 124
页数:6
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