THE EFFECT OF FLOW-RATE ON MICROWAVE ASSISTED DIAMOND CVD

被引：2

作者：

CELII, FG ^{[1
]}

PURDES, AJ ^{[1
]}

机构：

[1] TEXAS INSTRUMENTS INC,MAT SCI LAB,DALLAS,TX 75265

来源：

CARBON | 1990年 / 28卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1016/0008-6223(90)90315-P

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

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KOBASHI, K ;

NISHIMURA, K ;

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