OXIDE STRUCTURE IN EVAPORATED ALUMINUM FILMS

被引:18
作者
PETTIT, RB
SILCOX, J
机构
[1] HIGH TEMP MAT PROPERTIES DIV 5823, SANDIA LABS, ALBUQUERQUE, NM 87115 USA
[2] CORNELL UNIV, SCH APPL & ENGN PHYS, ITHACA, NY 14850 USA
关键词
D O I
10.1063/1.1663692
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2858 / 2866
页数:9
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