STRUCTURE AND ELECTRICAL-PROPERTIES OF TITANIUM NITRIDE FILMS

被引:61
作者
IGASAKI, Y
MITSUHASHI, H
AZUMA, K
MUTO, T
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.17.85
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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