THE STIC TECHNOLOGY - A MONOLITHIC APPROACH FOR COMBINING TANTALUM AND SILICON TECHNOLOGIES

被引：3

作者：

BULGER, GA

HECK, LD

UNGER, BA

SHEPHERD, LD

机构：

[1] WESTERN ELECT,READING,PA 19604

[2] BELL TEL LABS INC,READING,PA 19604

[3] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS HYBRIDS AND MANUFACTURING TECHNOLOGY | 1981年 / 4卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1109/TCHMT.1981.1135823

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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