ANALYSIS OF SUPERPOSITION ERRORS IN WAFER FABRICATION

被引：7

作者：

MATSUZAWA, T ^{[1
]}

SUNAMI, H ^{[1
]}

HASHIMOTO, N ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,TOKYO,JAPAN

来源：

MICROELECTRONICS AND RELIABILITY | 1977年 / 16卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0026-2714(77)90420-6

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：173 / 176

页数：4