COMPARISON OF STATIC AND DYNAMIC CALIBRATION METHODS FOR IONIZATION GAUGES

被引：20

作者：

MEINKE, C

REICH, G

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1967年 / 4卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492562

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：356 / &

相关论文

共 8 条

[1] BENNEWITZ HG, 1965, VAKUUM TECHNIK, V14, P8
[2] CHOUMOFF PS, 1965, VIDE, V20, P177
[3] FLORESCU NA, 1962, 8 T NAT VAC S AVS, P504
[4] ISHII H, 1962, 8 T NATL VAC S, P519
[5] MEINKE C, 1962, VAKUUMTECH, V11, P86
[6] MEINKE C, 1963, VAKUUMTECHNIK, V12, P79
[7] IONIZATION GAUGE CALIBRATION SYSTEM USING A POROUS PLUG AND ORIFICE
OWENS, CL
[J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1965, 2 (03): : 104 - &
[8] SIMONS JC, 1967, 3 T INT VAC C, V2, P263