HIGH-VACUUM DEGASSING FURNACE MADE FROM ALUMINUM-ALLOY AND ITS THERMAL-CHARACTERISTICS

被引：4

作者：

ITOH, K

ISHIGAKI, T

KAMIKAWANA, A

ISHIMARU, H

机构：

[1] SEIKO ELECTR COMP LTD,SENDAI 982,JAPAN

[2] NATL LAB HIGH ENERGY PHYS,TSUKUBA,IBARAKI 305,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575915

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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