PREFERENTIAL SPUTTERING AND SURFACE SEGREGATION IN TUNGSTEN-MOLYBDENUM ALLOYS

被引：18

作者：

DAWSON, PT ^{[1
]}

PETRONE, SA ^{[1
]}

机构：

[1] MCMASTER UNIV,DEPT CHEM,HAMILTON L8S 4M1,ONTARIO,CANADA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570804

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：529 / 532

页数：4

共 6 条

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