HUMIDITY SENSITIVE ELECTRICAL-CONDUCTION OF POLYCRYSTALLINE BORON-NITRIDE FILMS

被引：11

作者：

KIMURA, T

YAMAMOTO, K

YUGO, S

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1978年 / 17卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.17.1871

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1871 / 1872

页数：2

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[1] PREPARATION AND PROPERTIES OF THIN FILM BORON NITRIDE [J].

RAND, MJ ;

ROBERTS, JF .

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