ELECTROSTATIC WAFER CHUCK FOR ELECTRON-BEAM MICROFABRICATION

被引：51

作者：

WARDLY, GA ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1973年 / 44卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1685985

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1506 / 1509

页数：4

相关论文

共 3 条

[1]

DENHARTOG JP, 1952, ADV STRENGTH MATERIA, pCH4

[2]

Jackson J. D, 1962, CLASSICAL ELECTRODYN

[3]

LOEB WE, 1971, SPE J, V27, P46