SURFACE PROFILE MEASUREMENT USING THE CONFOCAL MICROSCOPE

被引：66

作者：

HAMILTON, DK

WILSON, T

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1982年 / 53卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1063/1.331391

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：5320 / 5322

页数：3

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共 4 条

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