APPARATUS FOR STUDY OF ACTION OF CONTACT ON THIN FILMS IN VACUUM OF ELECTRON MICROSCOPE

被引:2
作者
HEURTEL, A
ANDARELLI, G
COURTEL, R
机构
来源
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1971年 / 4卷 / 07期
关键词
D O I
10.1088/0022-3735/4/7/003
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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共 3 条
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