ETCHING OF SINGLE CRYSTAL GERMANIUM SPHERES

被引:24
作者
ELLIS, RC
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1702371
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1497 / 1499
页数:3
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共 3 条
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