THERMAL-DECOMPOSITION OF THE OXYNITRIDE OF SILICON

被引：22

作者：

EHLERT, TC ^{[1
]}

DEAN, TP ^{[1
]}

BILLY, M ^{[1
]}

LABBE, JC ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV LIMOGES, CNRS, EQUIPE RECH 539, CERAM RES CTR, F-87060 LIMOGES, FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1111/j.1151-2916.1980.tb10707.x

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：235 / 236

页数：2