ION-BEAM ETCHING OF SURFACE GRATINGS

被引：2

作者：

SMITH, HI ^{[1
]}

MELNGAILIS, J ^{[1
]}

WILLIAMSON, RC ^{[1
]}

BROGAN, WT ^{[1
]}

机构：

[1] MIT, LINCOLN LAB, LEXINGTON, MA 02173 USA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318487

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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