A NEW UHV SYSTEM WITH INTEGRATED STM FOR INDUSTRIAL APPLICATIONS

被引：8

作者：

COX, MP

HEPPELL, T

HANRIEDER, W

机构：

[1] VG SPECIAL SYST,E SUSSEX TN34 1QY,ENGLAND

[2] SIEMENS AG,W-8000 MUNICH 83,GERMANY

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1989年 / 22卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/22/9/022

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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