AN INTEGRATED THERMAL INFRARED SENSING ARRAY

被引：24

作者：

SARRO, PM

YASHIRO, H

VANHERWAARDEN, AW

MIDDELHOEK, S

机构：

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1988年 / 14卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(88)80065-9

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

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页码：191 / 201

页数：11

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共 2 条

[1]

Born M, 1980, PRINCIPLES OPTICS

[2] SILICON CANTILEVER BEAMS FABRICATED BY ELECTROCHEMICALLY CONTROLLED ETCHING FOR SENSOR APPLICATIONS [J].

SARRO, PM ;

VANHERWAARDEN, AW .

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1986, 133 (08) :1724-1729