EXPERIMENTAL STUDY OF GROWTH KINETICS OF VAPOR-DEPOSITED THIN METAL-FILMS

被引:42
作者
ROBINS, JL
DONOHOE, AJ
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(72)90086-7
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:255 / &
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