EFFECT OF ANNEALING ON STRUCTURE OF THIN RHODIUM FILMS

被引：13

作者：

KOSHY, J

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1978年 / 51卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(78)90340-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：L17 / L20

页数：4

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共 3 条

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