MICRO-RAMAN ANALYSIS OF STRESS IN MACHINED SILICON AND GERMANIUM

被引：28

作者：

SPARKS, RG

PAESLER, MA

机构：

来源：

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING | 1988年 / 10卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0141-6359(88)90053-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：8