LARGE AREA CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF DIAMOND PARTICLES AND FILMS USING MAGNETOMICROWAVE PLASMA

被引：111

作者：

KAWARADA, H

MAR, KS

HIRAKI, A

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1987年 / 26卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.26.L1032

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L1032 / L1034

页数：3