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FINITE THICKNESS EFFECT OF PROBE SHEATH IN RADIO-FREQUENCY PLASMA PROBE DIAGNOSTICS
被引:2
作者
:
GODYAK, VA
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GODYAK, VA
OX, SN
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OX, SN
机构
:
来源
:
JOURNAL DE PHYSIQUE
|
1979年
/ 40卷
关键词
:
D O I
:
10.1051/jphyscol:19797389
中图分类号
:
学科分类号
:
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:
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相关论文
共 5 条
[1]
INVESTIGATION OF AN RF PLASMA WITH SYMMETRICAL AND ASYMMETRICAL ELECTROSTATIC PROBES
GAGNE, RRJ
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GAGNE, RRJ
CANTIN, A
论文数:
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0
CANTIN, A
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1972,
43
(06)
: 2639
-
&
[2]
Godyak V. A., 1976, Fizika Plazmy, V2, P141
[3]
GODYAK VA, 1977, ZH TEKH FIZ+, V47, P766
[4]
Polak L. S., 1977, PLAZMOKHIMICHESKIE R
[5]
SOMMERFELD VA, 1949, ELEKTRODYNAMIK
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共 5 条
[1]
INVESTIGATION OF AN RF PLASMA WITH SYMMETRICAL AND ASYMMETRICAL ELECTROSTATIC PROBES
GAGNE, RRJ
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GAGNE, RRJ
CANTIN, A
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CANTIN, A
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1972,
43
(06)
: 2639
-
&
[2]
Godyak V. A., 1976, Fizika Plazmy, V2, P141
[3]
GODYAK VA, 1977, ZH TEKH FIZ+, V47, P766
[4]
Polak L. S., 1977, PLAZMOKHIMICHESKIE R
[5]
SOMMERFELD VA, 1949, ELEKTRODYNAMIK
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