楔条形阳极收集器的参量设计与工艺优化

被引：2

作者：

缪震华

赵宝升

刘永安

朱香平

张兴华

机构：

[1] 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室

来源：

光子学报 | 2008年 / 01期

关键词：

阳极探测器; 楔条形阳极收集器; 参量设计; 工艺优化;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN202 [设计];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

分析了楔条形阳极收集器各参量对探测器主要性能的影响,研究了圆形收集器的设计方法,制定并优化了相应的制作工艺.以此为基础,设计和制作了两块有效探测面积Φ48mm、周期1.2mm、绝缘沟道宽度30μm、电极厚度分别为1μm和2μm的圆形收集器.通过对比和分析这两块收集器的电阻和电极电容值以及相应的成像实验,验证了上述研究方法的正确性和"先光刻腐蚀后电镀增厚"工艺方案的可行性.

引用

页码：11 / 16

页数：6

共 4 条

[1] 楔条形阳极探测器位置灵敏的理论计算 [J].

缪震华 ;

赵宝升 ;

刘永安 ;

朱香平 .

光子学报, 2007, (12) :2215-2218

[2]

WSZ极紫外探测器及其信号采集电路的研究[J]. 王光明,赵宝升,魏培永,朱香平.光子学报. 2006(12)

[3] 用于软X射线光谱探测的双MCP近贴单幅相机 [J].

桂建保 ;

赵宝升 ;

张小秋 ;

邹远鑫 ;

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赵永蓬 ;

不详 .

光子学报 , 2004, (10) :1261-1264

[4]

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