基于MEMS的微型泵技术研究附视频

被引：10

作者：

崔建国

郑小林

侯文生

彭承琳

机构：

[1] 重庆大学

[2] 重庆大学重庆

[3] 重庆

[4] 重庆

来源：

中国医疗器械杂志 | 2004年 / 03期

关键词：

微机电系统(MEMS); 微流体控制系统; 微型泵;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH38 [各种用途];

学科分类号：

摘要：

基于硅微结构的微流体控制系统——微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物,医学、化工、电子、航空等领域。综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究现状,介绍了几种常用微型泵的工作结构原理,并讨论现有技术中存在的一些问题,以及提出了尝试解决的办法。

引用

页码：190 / 193

页数：4

共 6 条

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蔡炳初 ;

王莉 ;

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蔡炳初 ;

丁桂甫 ;

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微细加工技术, 1999, (04) :51-55

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[6]

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