共 17 条
超高/极高真空测量发展综述
被引：18
作者：
李得天
成永军
冯焱
卢耀文
赵澜
徐婕
机构：
[1] 兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室
来源：
关键词：
真空测量;
电离规;
X射线效应;
电子激励脱附;
场致发射;
激光电离;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB77 [真空测试及仪器];
学科分类号：
0804 ;
摘要：
本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解。
引用
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页码：522 / 530
页数：9
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