集成光栅干涉微位移测量方法

被引：9

作者：

伍康 ^{[1
,2
]}

叶雄英 ^{[1
,2
]}

刘力涛 ^{[1
,2
]}

陈烽 ^{[1
,2
]}

周兆英 ^{[1
,2
]}

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

[2] 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

纳米技术与精密工程 | 2009年 / 7卷 / 01期

关键词：

位移测量; 干涉法; 衍射光栅; 微机电系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH822 [位移测量仪表];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动、检测电路组成.入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动结构与光栅之间的距离变化,通过测量衍射光强的变化可以得到位移.测试实验结果表明,所制作的集成光栅干涉微位移敏感芯片可实现位移检测,最小可检测的位移约0.2nm.

引用

页码：56 / 59

页数：4