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纳米定位测量机操作测量结果(英文)
被引：7
作者：
JGER Gerd
GRNWALD Rainer
MANSKE Eberhard
HAUSOTTE Tino
FβL Roland
机构：
[1] 德国伊尔梅瑙工业大学,德国伊尔梅瑙工业大学,德国伊尔梅瑙工业大学,德国伊尔梅瑙工业大学,德国伊尔梅瑙工业大学德国,德国,德国,德国,德国
来源：
关键词：
纳米定位;
纳米测量;
激光干涉仪;
控制系统;
长距扫描探针技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH89 [其他仪器仪表];
学科分类号：
摘要：
伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机 (NPMM ) .阿贝无偏设计使得该机器异常精确 .在整个 2 5mm× 2 5mm× 5mm的定位和测量域内 ,干涉测长系统分辨力可达 0 .1nm ,不确定度达 5～ 10nm .提供了纳米定位测量机的基本信息 ,介绍其操作模式 ,并给出了测量结果
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